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激光干涉儀配置選型注意事項

點擊次數:2369  更新時間:2018-06-20

激光干涉儀資訊信息平臺,激光干涉儀配置選型注意事項:

  • 平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
  • 平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可
  • 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
  • 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
  • 直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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